Ilçenin tarihi Anadolu’da ilk Türk uygarligi olan Etiler’e kadar dayanir. Ilçe Etiler devrinde “Sallpa“ adiyla anilmaktaydi. M.Ö. 700 yillarinda Frigler’in yerlesme yeridir ve adi “Spalya” olmustur. O devirde meshur Kral Yolu ilçe sinirlari içindeki Pessinus’dan geçmektedir.

Bizanslilar zamaninda “Justinianapolis” adini alan Sivrihisar çok büyümüs, Bizans’in en güçlü imparatoru Jüstinyen (M.S.527-565) sehre kendi adini vermistir.

Selçuklular 1074’de Sivrihisar’a yerlesmislerdir. Bu tarihlerde Selçuklular’in uç beyliginin merkezlgini yapmistir. Selçuklular sehirde bir çok cami, medrese, han, hamam gibi eserler yapmislardir. Sivrihisar o dönemde önemli bir kültür ve ticaret merkezi haline gelmistir.

Anadolu Selçuklu Devleti’nin 1308’de yikilmasindan sonra Ilhanlilar’in kontrolüne giren bölge, bu devletin Anadolu’da etkisinin azalmasiyla bagimsizliklarini ilan eden Türkmen beyliklerinden, merkezi Kütahya’da olan Germiyanogullari beyligi sinirlari içinde kalmistir. Sultan I. Murad zamaninda da Osmanli sinirlarina dahil olmustur. Bu dönemde Ankara vilayetinin merkez sancagina bagli bir kazadir. 1912 Yilinda Eskisehir’e baglanmistir.

I. Dünya savasindan sonra Yunan isgaline ugrayan ilçe topraklari 20 Eylül 1921 de isgalden kurtulmustur.